| 测量仪器名称 | 原子力显微镜 |
| 专业 | 激光波长 |
| 领域 | 信息技术，其他 |
| 备注 |
| 校准参数/测量能力 | ||||
| 校准参数 | 测量仪器类别/典型型号 | 校准规范 | 测量范围 | 最佳测量能力(扩展不确定度) |
| 长度 | JJF 1351-2012《扫描探针显微镜》校准规范 | X、Y方向：(0~50)μm； | U =80nm | |
| 长度 | JJF 1351-2012《扫描探针显微镜》校准规范 | Z方向：(0~1)μm | U =2.8nm | |
| 认可证书 | 证书编号 | No.CNAS L0854 | 发证日期 | 2015-02-04 |
| 发证单位 | 中国国合格评定认可委员会 | 有效期至 | 2018-02-03 |
| 获认可能力单位名称 | 山东省计量科学研究院 |
| 信息录入单位 | 山东省计量科学研究院【单位介绍】 |
| 关键字 | 原子力显微镜,显微镜 |
| 描述 | 原子力显微镜校准参数长度，测量范围X、Y方向：(0~50)μm，U =80nm；Z方向：(0~1)μm，U =2.8nm。校准依据JJF 1351-2012《扫描探针显微镜》校准规范。 |