测量仪器名称 | 平面平晶 |
专业 | 直线度和平面度 |
领域 | 高技术服务 |
备注 | \ |
校准参数/测量能力 | ||||
校准参数 | 测量仪器类别/典型型号 | 校准规范 | 测量范围 | 最佳测量能力(扩展不确定度) |
平面度 | / | JJG 28-2000 平晶检定规程 | Ф30mm | U=0.005μm |
平面度 | / | JJG 28-2000 平晶检定规程 | Ф45mm | U=0.006μm |
平面度 | / | JJG 28-2000 平晶检定规程 | Ф60mm | U=0.008μm |
平面度 | / | JJG 28-2000 平晶检定规程 | Ф80mm | U=0.012μm |
平面度 | / | JJG 28-2000 平晶检定规程 | Ф100mm | U=0.015μm |
认可证书 | 证书编号 | CNAS L1060 | 发证日期 | 2015-11-02 |
发证单位 | 中国合格评定国家认可委员会 | 有效期至 | 2018-11-01 |
获认可能力单位名称 | 陕西省计量科学研究院 |
信息录入单位 | 陕西省计量科学研究院【单位介绍】 |
关键字 | 平面平晶,直线度和平面度 |
描述 | 本装置由标准平晶、平面等厚干涉仪、立式光学计等仪器组成。溯源到中国计量科学研究院平面等倾干涉仪。装置的准确度等级为2等。本装置采用比较测量的方法对D(0~100)mm的平面平晶和平行平晶开展检定工作。 工作原理:测量时,采用被检平晶与标准平晶相比的方法。在平面等厚干涉仪上被检平晶与标准平晶研合,在目镜视场观察平晶直径的干涉条纹的最大弯曲量b与条纹间距a的比值来确定平面度F的大小。将应用于几何量平直度类参数的检定与校准。环境温度:(20±3)℃ |